高真空超洁净气氛炉 HITSemi-VAF-1500
高真空超洁净气氛炉集真空抽气系统、真空炉膛、温度控制系统、气路系统、压力保护系统为一体。炉衬使用多层钨钼金属反射屏制作而成。
- 产品描述
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高真空超洁净气氛炉集真空抽气系统、真空炉膛、温度控制系统、气路系统、压力保护系统为一体。炉衬使用多层钨钼金属反射屏制作而成。
采用钨片为加热元件；是专为高等院校、科研院所的实验室及工矿企业对陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、新材料开发、特种材料、建材、金属、非金属及其它化合物材料进行烧结、融化、分析、生产而研制的专用设备。
主要特点
本产品采用可靠的集成化电路，工作环境好，抗干扰。
最高温度时炉体外壳温度≤40°C，大大提高了工作环境。
微电脑程序控制，全自动升温/降温，运行中可以修改控温参数及程序，灵活方便、操作简单。
具有正负压显示，炉膛超压保护、超温保护，水流水压水温保护，断偶保护。技术参数
产品型号 HITSemi-VAF-1500 温度控制系统 长期工作温度：1400°C（可选配，1600°C）
控制范围：50°C~1800°C
控温精度：±1°C（集成化电路控制，无超调现象）
炉内温场均匀度：±2°C（根据加热室大小而定）
升温速率：可自由调节，范围：最快升温速率每分钟20°C（非线性）、最慢升温速率每小时1°C（非线性）
炉膛 炉膛尺寸（有效热场）：300mm × 200mm × 200 mm
发热元件：高纯金属钨片（禁止在800°C以上通入N2）
发热元件安装位置：鼠笼式结构
隔热保温：炉膛内采用10层反射屏（3层钨、2层钼、2层310S、3层304）
炉体结构 炉体结构：304不锈钢水冷双层炉体结构，保证良好工作环境
炉体外壳温度：长期使用不停炉，外壳温度小于45°C（有水温检测）
水冷系统 接口：进、排水口设有接口，可直接连接用户循环水系统 保护：排水管带过压保护;停水时声光报警和互锁装置启动，同时开启紧急冷却水 冷水机（可选配） 真空系统 极限真空度：6×10-4 Pa（空炉冷态洁净）
工作真空度：6×10-3 Pa（空炉洁净）
真空机组 分子泵+机械泵（可选配，干泵）
气路系统
可通气体：Ar、H2
充气系统：加热过程中可调节真空度
控制形式 半自动/全自动
控制系统 PLC+触摸屏
设备工作条件
供电
三相五线制，AC 380V，50Hz；90KVA（设备供电由两路组成，一路系统供电，一路加热供电）
功率
60KW
冷却水
≤100L/min
水压
0.1Mpa~0.15MPa
水温
18℃～25℃
气动部件供气压力
0.5MPa～0.7MPa
质量流量控制器供气压力
0.05MPa～0.2MPa
工作环境温度
10℃～40℃
工作环境湿度
≤50%
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