- 设计了中试型的全自动化监控的MOCVD，用于外延GaN和ZnO
- 设计制造了中国第一台完全自主知识产权的MBE（分子束外延设备），用于外延光电半导体材料
- 设计超高温CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生长
- 设计制造了光学级金刚石生长设备（采用热激发技术和CVD技术）
- 设计制造了金刚石涂层制备设备，制备了金刚石电极、微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜
- 优化Rheed设计，开始生产型MBE设计
- 开始研发PSD方法外延GaN的工艺和装备
- 设计制造了大型热丝CVD金刚石薄膜的生产设备
- 腾博会官网半导体技术（深圳）有限公司创建
- 全资子公司 腾博会官网微纳技术（沈阳）有限公司创建；
- 热丝化学气相沉积设备、高真空磁控溅射仪、电子束蒸镀机、分子束外延与磁控溅射联用设备多套出货
- 取得ISO9001质量管理体系证书
- PSD方法外延GaN装备与工艺的技术攻关
- 科技型中小企业
- 创新型中小企业
- 获20余项知识产权专利
- 企业信用评价AAA级信用企业、ISO三体系认证
- 子公司 晶源半导体材料科技（沈阳）有限公司创建
- 与军工和上市头部企业合作取得突破
- 腾博会官网微纳技术（沈阳）有限公司子公司扩产
- 晶源半导体材料科技（沈阳）有限公司投产BDD电极材料
-与军工和上市头部企业合作取得突破（X 光感受板及光电器件的薄膜生长等）
-腾博会官网微纳子公司扩产
-TGV/TSV/TMV
-微光探测、医疗影像、复合硬质涂层
-高新技术企业
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