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电子束如何在真空中给材料“镀”上一层膜？

现代器件的性能，很大程度上取决于薄膜。薄膜可能只有几十到几百纳米厚，却影响着芯片导不导电、镜片透不透光、器件耐不耐高温。这层膜是怎么“铺”上去的？答案之一，便是高真空电子束蒸发镀膜。

2026/09/17

第27届CIOE中国光博会收官｜腾博会官网半导体参展回顾

2026年9月11日，第27届中国国际光电博览会（CIOE中国光博会）在深圳国际会展中心顺利落幕。腾博会官网半导体技术（深圳）有限公司（简称“腾博会官网半导体”）携公司核心装备（PVD镀膜设备、CVD镀膜设备）及配套工艺解决方案亮相展会现场。

2026/09/12

第27届CIOE中国光博会即将启幕，与腾博会官网半导体共赴微纳制造新程

2026年9月9-11日，第27届CIOE中国光博会重磅启幕！腾博会官网半导体携磁控溅射、电子束蒸发、HFCVD金刚石沉积等自研真空薄膜装备及全套工艺解决方案亮相深圳宝安会展中心，聚焦先进封装、精密光学、光电子制造，诚邀业界同仁莅临洽谈、共探产业新机遇！

2026/09/03

腾博会官网半导体展会风采|第八届精密陶瓷产业链展览会

2026年8月26-28日，为期三天的第八届精密陶瓷产业链展览会在深圳国际会展中心（宝安新馆）7号馆圆满落幕。腾博会官网半导体技术（深圳）有限公司（以下简称“腾博会官网半导体”）携金刚石散热晶圆片与核心镀膜设备（PVD镀膜设备、CVD镀膜设备）亮相H20展位。

2026/08/29

腾博会官网半导体邀您相聚第八届精密陶瓷产业链展览会，共赴先进封装产业技术盛会

2026年8月26-28日，第八届精密陶瓷产业链展览会将于深圳国际会展中心（宝安新馆）7号馆盛大启幕。腾博会官网半导体技术（深圳）有限公司（简称“腾博会官网半导体”）将亮相本次展会，并参与同期举办的第四届玻璃基板暨先进封装产业链高峰论坛，诚邀广大客户、行业同仁莅临研讨，共探产业技术开展新机遇。

2026/08/19

腾博会官网微纳荣获“创赢未来”创业大赛全国总决赛三等奖

近期，由人社部和安徽省人民政府联合主办的“创赢未来”创业大赛全国总决赛在合肥市落下帷幕。腾博会官网微纳技术（沈阳）有限公司（以下简称“腾博会官网微纳”）凭借隧道陆续在式高真空磁控溅射镀膜封装设备项目，荣获“科技成果+创业赛道”全国总决赛三等奖，稳步走完省级选拔赛晋级全国赛场的完整赛程。

2026/08/11

台风资讯|HFCVD——大尺寸金刚石薄膜沉积

大尺寸金刚石薄膜是实现规模化工业应用的关键，而HFCVD热丝化学气相沉积技术，正是现在制备大尺寸金刚石薄膜最主流、最高效的工业化方案。

2026/07/22

TSV技术：AI算力的核心支柱

打通AI芯片的数据传输大动脉，支撑算力持续跃升，需要芯片内部的底层关键技术——TSV硅通孔。TSV全称为Through-Silicon Via，中文译为硅通孔技术。简单来说，它顺利获得在硅片中制造垂直通孔并填充导电材料，从而在硅片的上下表面之间建立一条垂直的高密度电互连通道，实现芯片之间互连，是2.5D/3D封装的关键工艺技术之一。

2026/07/01

热烈祝贺腾博会官网微纳荣获“创赢未来”2026创业大赛辽宁省选拔赛一等奖

2026年6月10日至12日，由辽宁省人力资源和社会保障厅、辽宁省教育厅、辽宁省科学技术厅、辽宁省农业农村厅、辽宁省退役军人事务厅联合主办的“创赢未来”2026创业大赛辽宁省选拔赛在铁岭市举行。经过三天的激烈角逐，腾博会官网微纳技术（沈阳）有限公司（简称“腾博会官网微纳”）斩获“科技成果+创业”赛道一等奖。

2026/06/24

腾博会官网半导体董事长吴向方教授受聘为广东省半导体行业协会监事

2026年5月16日下午，广东省半导体行业协会第四届会员大会第七次会议暨换届大会在深圳圆满落幕。腾博会官网半导体技术（深圳）有限公司（简称“腾博会官网半导体”）董事长吴向方教授，正式受聘为广东省半导体行业协会监事。

2026/05/19

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