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    腾博会官网半导体诚邀请您参观第24届CIOE中国光博会

    发布时间：

    2022-08-29

    9月7日-9月9日，第24届中国国际光电博览会将在深圳国际会展中心举办。 　　腾博会官网半导体将携热丝CVD金刚石制备设备、分子束外延薄膜生长设备（MBE）、高真空磁控溅射仪、多功能磁控溅射仪、高真空电子束蒸发镀膜机、高真空电阻热蒸发镀膜机及化学气相沉积（CVD）设备（其中包括LPCVD设备、MOCVD设备、PECVD设备等）等解决方案参加此次展会，在此诚挚邀请业界朋友莅临腾博会官网半导体展位，共话前沿技术，展望真空镀膜设备未来。

    　　9月7日-9月9日，第24届中国国际光电博览会将在深圳国际会展中心举办。
    　　腾博会官网半导体将携热丝CVD金刚石制备设备、分子束外延薄膜生长设备（MBE）、高真空磁控溅射仪、多功能磁控溅射仪、高真空电子束蒸发镀膜机、高真空电阻热蒸发镀膜机及化学气相沉积（CVD）设备（其中包括LPCVD设备、MOCVD设备、PECVD设备等）等解决方案参加此次展会，在此诚挚邀请业界朋友莅临腾博会官网半导体展位，共话前沿技术，展望真空镀膜设备未来。

    展区：精密光学展&光学真空镀膜馆
    展馆：9号馆
    展位号：9B83

    　　展馆分布图（9号馆）

    参展解决方案

    　　热丝CVD金刚石制备设备
    　　腾博会官网半导体研发设计制造了热丝CVD金刚石设备，分为实验型设备和生产型设备两类。
    　　热丝CVD金刚石设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜、硬质合金基金刚石涂层刀具、陶瓷轴承内孔镀金刚石薄膜等。例如可用于生产制造环保领域污水处理用的耐腐蚀金刚石导电电极。
    　　可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。
    　　工作的尺寸：最大φ650mm。
    　　矩形工作尺寸的宽度600mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1200mm）。
    　　实验型 热丝CVD金刚石设备

    单面热丝CVD金刚石设备

    双面热丝CVD金刚石设备

    　　生产型热丝CVD金刚石设备

    可制备金刚石面积-宽650*1200mm

    可制备金刚石φ 650mm

    　　分子束外延薄膜生长设备（MBE）
    　　分子束外延薄膜生长设备（MBE)（分子束外延MBE）该设备可以在某些衬底材料上实现外延生长工艺，实现分子自组装、超晶格、量子阱、一维纳米线等。可以进行第二代半导体和第三代半导体的工艺验证和外延片的生长制造。
    　　分子束外延薄膜生长设备（MBE）在薄膜外延生长时具有超高的真空环境，是在理想的环境下进行薄膜外延生长，它可以排除在薄膜生长时的各种干扰因素，得到理想的高精度薄膜。
    　　我公司设计制造的分子束外延薄膜生长实验设备，分实验型和生产型两种 ，配置合理，结构简单，操作方便，技术先进，性能可靠，用途多，实用性强，价格相对较低，可供各大学的实验室及科研组织作为分子束外延方面的教学实验、科研研究及工艺实验之用。生产型MBE可用于小批量外延片的制备。

    　　功能特点
    　　本项目于2005年在国内率先完成了成套MBE的全国产化研发设计和制造，做到自主可控。自主设计MBE超高真空外延生长室、工艺控制系统与软件、RHEED原位实时在线监控仪、直线型电子枪、高温束源炉、束源炉电源、高温样品台、膜厚仪（可计量外延生长的分子层数）等核心部件。

    　　可实现第二代半导体（如砷化镓等）和第三代半导体（如碳化硅和氮化镓）的外延生长。

    　　经过十几年的工艺探索， 设备设计不断升级， 已具备设计制造生产型 MBE设备的能力。
    　　设备配置合理，结构简单，技术先进，性能可靠，用途多，实用性强， 性能价格比高。
    　　实验型MBE

    　　生产型MBE

    　　除了以上设备解决方案，腾博会官网半导体展台还将展示其他设备解决方案，如化学气相沉积(CVD)包括LPCVD设备、MOCVD设备、PECVD设备；物理气相沉积（PVD）包括：高真空电阻热蒸发镀膜机（高真空镀膜机）、高真空电子束蒸发镀膜机（电子束蒸发镀膜机）、高真空磁控溅射仪（磁控溅射镀膜机）等解决方案。敬请期待！
    　　9号馆 | 9B83
    　　9月7-9日，深圳国际会展中心，
    　　腾博会官网与您不见不散！

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