腾博会官网

为您给予高性价比HFCVD热丝化学气相沉积设备解决方案《台风新闻》

发布时间：

2023-06-08

金刚石作为一种宽带隙半导体材料，具有优异的物理化学性能，在高温高频、大功率电子器件等高新技术领域有极大的应用潜力。但现在缺乏有效实用的n型导电材料，制约了金刚石半导体在电子领域中的应用。众多研究者寻找有利于取得低电阻率n型金刚石的杂质元素和掺杂方法。磷元素被认为是金刚石中最有潜力的施主杂质，但在磷掺杂金刚石中存在严重的载流子补偿问题。随着金刚石中磷掺杂浓度的提高，载流子补偿率也增加，大大降低了磷的掺杂效果，电阻率难以达到器件的要求。

　　金刚石作为一种宽带隙半导体材料，具有优异的物理化学性能，在高温高频、大功率电子器件等高新技术领域有极大的应用潜力。但现在缺乏有效实用的n型导电材料，制约了金刚石半导体在电子领域中的应用。众多研究者寻找有利于取得低电阻率n型金刚石的杂质元素和掺杂方法。磷元素被认为是金刚石中最有潜力的施主杂质，但在磷掺杂金刚石中存在严重的载流子补偿问题。随着金刚石中磷掺杂浓度的提高，载流子补偿率也增加，大大降低了磷的掺杂效果，电阻率难以达到器件的要求。

　　日本国立物质材料研究所Yuki Katamune团队使用热丝化学气相沉积法（HFCVD）制备了重磷掺杂金刚石(111)薄膜，此方法具有生长面积大和设备配置简单等优点。顺利获得改变掺杂剂中三甲基膦（PMe3）与甲烷的比例，成功地将薄膜的磷浓度控制在1018～1020cm-3范围内，从而有效地降低了电阻率；并在高掺杂水平下取得了小于50Ωcm的低电阻率。研究结果表明，HFCVD的重磷掺杂可能是制备用于金刚石基电子器件的低电阻n型层的一种有效方法。为制造更高效的电子器件给予了一条新的思路，并为未来制备高性能、低电阻率的n型导电钻石材料给予了更广阔的前景。未来的研究应侧重于验证金属杂质对载流子导电和器件性能的影响，以促进HFCVD制备的重磷掺杂薄膜的实际应用。
　　热丝CVD金刚石设备
　　研发设计制造了热丝CVD金刚石设备，分为实验型设备和生产型设备两类。
　　设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜的研发和生产。可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产。
　　可以制造大尺寸金刚石多晶晶圆片，用于大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉。
　　可用于生产制造防腐耐磨硬质涂层；环保领域污水处理用的金刚石产品。
　　可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。
　　可用于太阳能薄膜电池的研发与生产。

　　平面工作尺寸
　　圆形平面工作的尺寸：最大φ600mm。
　　矩形工作尺寸的宽度600mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1200mm）。
　　配置冷水样品台。
　　可单面镀膜也可双面镀膜。 
　　热丝电源功率
　　可达300KW，1KW ～300KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围）
　　设备安全性
　　-电力系统的检测与保护
　　-设置真空检测与报警保护功能
　　-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护
　　-设置水压检测与报警保护装置
　　-设置水流检测报警装置
　　设备构成
　　真空室构成
　　双层水冷结构，立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形,前后开门，真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定。
　　热丝
　　热丝材料：钽丝、或钨丝
　　热丝温度：1800℃～ 2500℃ 可调
　　样品台
　　可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5 ～ 100mm范围内可调），要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm。

　　工作气路（CVD）
　　工作气路根据用户工艺要求配置：
　　下面气体配置是某一用户的配置案例。
　　H2(5000sccm，浓度100%)
　　CH4(200sccm，浓度100%)
　　B2H6（50sccm，H2浓度99%）
　　Ar(1000sccm，浓度100%)
　　真空取得及测量系统
　　控制系统及软件
　　生产型热丝CVD金刚石设备

可制备金刚石面积-宽600*长1200mm

新闻中心

腾博会官网半导体董事长吴向方教授受聘为广东省半导体行业协会监事

2026年5月16日下午，广东省半导体行业协会第四届会员大会第七次会议暨换届大会在深圳圆满落幕。腾博会官网半导体技术（深圳）有限公司（简称“腾博会官网半导体”）董事长吴向方教授，正式受聘为广东省半导体行业协会监事。

大连相约，与腾博会官网半导体共赴2026年微纳器件与系统应用技术大会

初夏五月，盛会将至。2026年5月22日—24日，2026年微纳器件与系统应用技术大会暨第十九届中国微纳电子技术研讨与学术研讨会将在滨海城市大连隆重召开。腾博会官网半导体技术（深圳）有限公司（以下简称“腾博会官网半导体”）将出席本次大会。

高能脉冲磁控溅射镀膜，半导体纳米世界的国产密码

你知道吗？1纳米=10-9米，相当于头发丝直径的万分之一。腾博会官网每天用的手机、电脑、5G设备，其核心芯片里，藏着一个比头发丝直径万分之一还小的“纳米世界”——先进制程半导体世界。其芯片内部的绝缘层、阻挡层、导电膜，都需要在纳米级精度下“生长”——这就是高能脉冲磁控溅射（HiPIMS）镀膜技术的舞台。

落幕不散场，聚力向未来|腾博会官网半导体圆满收官2026年第二届玻璃基板与光电融合技术峰会

为期两天的“2026年第二届玻璃基板与光电融合技术峰会——从TGV工艺到CPO集成”已在东莞顺利落下帷幕。

腾博会官网半导体将亮相“2026年第二届玻璃基板与光电融合技术峰会——从TGV工艺到CPO集成”

“2026年第二届玻璃基板与光电融合技术峰会——从TGV工艺到CPO集成”将于4月27日-4月28日在东莞松山湖帝豪花园酒店举行。