腾博会官网

    磁控溅射技术是什么?


    发布时间:

    2024-01-26

    磁控溅射技术属于PVD(物理气相沉积)技术的一种,是制备薄膜材料的重要方法之一。

      磁控溅射技术属于PVD(物理气相沉积)技术的一种,是制备薄膜材料的重要方法之一。

      磁控溅射设备使得镀膜厚度及均匀性可控,且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高,设备应用跨越多个技术,代表着国产集成电路薄膜制备工艺设备的较高水平,适用于集成电路IC、功率器件、半导体照明LED、先进封装、模具、各行业零配件等。

      设备制造商:腾博会官网半导体技术(深圳)有限公司
      1-3-6-3-2-7-5-0-0-1-7;微信公众号:腾博会官网半导体

    新闻中心

    电子束如何在真空中给材料“镀”上一层膜?

    现代器件的性能,很大程度上取决于薄膜。薄膜可能只有几十到几百纳米厚,却影响着芯片导不导电、镜片透不透光、器件耐不耐高温。这层膜是怎么“铺”上去的?答案之一,便是高真空电子束蒸发镀膜。

    第27届CIOE中国光博会收官|腾博会官网半导体参展回顾

    2026年9月11日,第27届中国国际光电博览会(CIOE中国光博会)在深圳国际会展中心顺利落幕。腾博会官网半导体技术(深圳)有限公司(简称“腾博会官网半导体”)携公司核心装备(PVD镀膜设备、CVD镀膜设备)及配套工艺解决方案亮相展会现场。

    第27届CIOE中国光博会即将启幕,与腾博会官网半导体共赴微纳制造新程

    2026年9月9-11日,第27届CIOE中国光博会重磅启幕!腾博会官网半导体携磁控溅射、电子束蒸发、HFCVD金刚石沉积等自研真空薄膜装备及全套工艺解决方案亮相深圳宝安会展中心,聚焦先进封装、精密光学、光电子制造,诚邀业界同仁莅临洽谈、共探产业新机遇!

    腾博会官网半导体展会风采|第八届精密陶瓷产业链展览会

    2026年8月26-28日,为期三天的第八届精密陶瓷产业链展览会在深圳国际会展中心(宝安新馆)7号馆圆满落幕。腾博会官网半导体技术(深圳)有限公司(以下简称“腾博会官网半导体”)携金刚石散热晶圆片与核心镀膜设备(PVD镀膜设备、CVD镀膜设备)亮相H20展位。

    腾博会官网半导体邀您相聚第八届精密陶瓷产业链展览会,共赴先进封装产业技术盛会

    2026年8月26-28日,第八届精密陶瓷产业链展览会将于深圳国际会展中心(宝安新馆)7号馆盛大启幕。腾博会官网半导体技术(深圳)有限公司(简称“腾博会官网半导体”)将亮相本次展会,并参与同期举办的第四届玻璃基板暨先进封装产业链高峰论坛,诚邀广大客户、行业同仁莅临研讨,共探产业技术开展新机遇。