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总程系统

设备整体为cluster结构，由光电转换薄膜沉积系统、MAMS 电子剥离系统、排气封装系统、吸气材料真空涂敷系统、整体除气系统组成。可实现整体自动协调操作，也可各系统独立运行，互不干扰，系统间可设置互锁。316材质制造，预留若干法兰接口。

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腾博会官网半导体邀您相聚第八届精密陶瓷产业链展览会，共赴先进封装产业技术盛会

2026年8月26-28日，第八届精密陶瓷产业链展览会将于深圳国际会展中心（宝安新馆）7号馆盛大启幕。腾博会官网半导体技术（深圳）有限公司（简称“腾博会官网半导体”）将亮相本次展会，并参与同期举办的第四届玻璃基板暨先进封装产业链高峰论坛，诚邀广大客户、行业同仁莅临研讨，共探产业技术开展新机遇。

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